بر اساس تکنولوژی نیترید گالیم و تجهیزات برای تولید موجود، کرنش مهندسی روش عملی برای میکرو صفحه نمایش ارائه می کنند.
براساس کرنش مهندسی ایندیم گالیم نیترید (InGaN) چند چاه کوانتومی، دانشگاه میشیگان یکپارچه یکپارچه کهربا سبز آبی چراغ (شکل 1) توسعه یافته است. مهندسی فشار با قطرهای مختلف ستون های نانو اچ به دست آورد.
انجیر. 1. قطرهای مختلف مجموعه نانو ستون رهبری از بالا به پایین تولید شماتیک
ارائه روش قابل دوام برای میکرو نمایش مبتنی بر این پیکسل به رهبری امید محققان برای تولید قرمز-سبز-آبی در آینده با 635nm نورانی کوانتومی خب، منجر. کاربردهای بالقوه دیگر عبارتند از: نور ظل و ژنتیک نوری.
علاوه بر پشتیبانی از بنياد ملي علوم (NSF)، سامسونگ پشتیبانی از تولید و طراحی تجهیزات. امیدوارم که محققان توسعه تراشه سطح چند رنگ LED پلت فرم مبتنی بر زیرساخت های موجود برای تولید.
مواد epitaxial در یاقوت کبود 2 اینچ بدون الگو با استفاده از رسوب بخار شیمیایی آلی فلزی (MOCVD) رشد. درخشان منطقه فعال شامل 5 2 تله 5nm InGaN دروازه 12nm گن جدا می باشد. لایه مانع الکترونیکی و لایه P تماس 20nm نیترید گالیم (P-al0.2ga0.8N) و 150nm P-گن ترتيب تشکیل شده است.
نانو ستون تشکیل شده است با استفاده از لیتوگرافی پرتو الکترونی و ماسک نیکل برای فرایند مخلوط خشک و تر و اچ استفاده می شود. بسیاری از اچ پلاسما خشک inductively همراه است و فاز اچ مرطوب استفاده می شود برای رسیدن به قطر نهایی و حذف خسارت از مرحله خشک اچ. عمق اچ مورد 300nm است. در طول فرآیند کل تولید ماسک اچ به محافظت از سطح P گن محافظت می شود.
پس از رسوب پیشرفته به پلاسما شیمیایی بخار (PECVD) از 50nm سیلیکون نیترید پذيرفت ساختار با استفاده از شیشه ای چرخشی دار برای منزوی کردن N و P به گن بخش تشکیل می شد.
زنگ خشک از ساختار تخت به نوک ستون. مواد نیکل ماسک با محلول اسید نیتریک را حذف کنید. P-تماس پوشش نیکل/طلا حرارتی در هوا نرم شده است.
اجراي برق دستگاه نشت کم مورد 3 x 10-7a در هر پیکسل را در 5V معکوس تعصب نشان می دهد. نشت کم است منسوب به دو عوامل کوانتومی پهن خوبی فراهم می کند اثر crowding جاری کم و محدودیت حامل فشار آغاز به مرکز ستون نانو. خطر اثر کاهش به علت چگالی جریان بیشتر در ستون های باریک را می توان با کاهش فشار نتیجه کاهش کوانتومی محدودیت "اثر اشتارک" از میدان الکتریکی ناشی از قطبش اتهام اوراق قرضه شیمیایی در نیترید بهبود یافته است.
پیکسل تشکیل شده از ستون با قطرهای مختلف و رنگهای مختلف (شکل 2). افزایش قطر، طول موج بلندتر می شود و تنوع بیشتری است. محققان تغییر نسبت به تغییرات ضخامت چاه کوانتومی بر روی ویفر.
QQ تصویر 20170916103202. png
انجیر. 2. () طیف ال دمای اتاق آبی (487nm), سبز (512nm)، نارنجی (575nm) و کهربا (600nm) نور به دست آمده از 50nm ستون نانو قطر 100nm است و 800nm و نازک پیکسل منجر شده است.
(ب) طول موج نور با استرس یک بعدی نظریه آرامش به دست آمده.
ج ـ موقعیت قله اصلی تحت مختلف ولتاژ مغرضانه.
با افزایش ولتاژ و جریان تزریق بیشتر و بیشتر شل نانولوله های باریک نیز نشان می دهد کمتر طول موج آبی پوش. 800nm قطر نانو ستون پیکسل آبی پوش بین 2.8V و 4V 40nm است. این تیم تحقیقاتی از طریق میدان وابسته به فشار ولتاژ در دام پخت است.
تیم ثابت ولتاژ تاير و تغییر شدت از طریق مدولاسیون فرکانس نبض نتیجه برقراری ثبات در طول موج خروجی پیکسل. از طریق این آزمایش این است که همه نوع پیکسل را پایدار طول موج و شدت نسبی electroluminescence و نسبت وظیفه سیگنال پالس تقریبا خطی تغییر نشان داده. عرض پالس 400μs است. فرکانس پالس 200 هرتز و 2000 هرتز متفاوت است.
